CEM3000臺式掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子***,發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。
此外,中圖儀器臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術,展現出色的性能。

產品功能
1)CEM3000臺式掃描電子顯微鏡緊湊的外型,能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花;
2)高分辨率,能夠對微尺寸特征進行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;
3)快速抽放氣,憑借真空系統設計,該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間;
4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調節功能,無需過多人工操作,就可得到高質量拍攝圖片;
5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術,基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;
7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測;
8)能夠提供多種成像參數供用戶選擇,滿足專業用戶的調節需求;
9)CEM3000臺式掃描電鏡搭配有多種探頭,能夠對樣品進行多種手段的分析。
應用場景
材料科學:納米材料(如60nm銀線)、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結構分析。
新能源:太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫療:微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業質檢:錫球顆粒焊接質量、精密器件表面粗糙度檢測。

應用案例
金屬材料分析

花粉微觀形態

機型選擇
CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專為振動環境設計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩定。

部分技術指標
型號
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CEM3000A(大樣品倉型)
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電子***
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燈絲
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鎢燈絲
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分辨率
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優于4nm(SE),優于8nm(BSE) @20kV
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加速電壓
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1 ~ 20kV
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放大倍數
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電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)
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探測器
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二次電子
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標配
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背散射電子
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標配(四象限高分辨探頭)
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能譜儀
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選配
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自動化軟件
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標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強
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選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建
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真空系統
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真空度
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高真空:優于9×10-3Pa
低真空:5 ~ 100 Pa(選配)
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抽真空時間
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低真空模式 < 1.5min
高真空模式 < 3min
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樣品臺
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自動軸
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X,Y,T
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手動軸
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R,Z
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行程范圍
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X: 50mm
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Y: 50mm
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R: 0°~360°(手動旋轉、電子束旋轉)
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T: -22.5°~ +22.5°
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Z: 45mm
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樣品尺寸
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70mm×70mm(水平)
45mm(高度)
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倉內相機
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導航相機
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標配高分辨彩色相機
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側視相機
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標配高分辨紅外相機
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操作系統
圖片尺寸
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Windows10 (64bit)
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640×480
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1280×960
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2560×1920
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5120×3840
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10240×7680
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